高纯气休的翰送系统应该包括制造厂的 充灌葬里 ,管道 氮气置换, 贮存容器 钥瓶或贮带 , 运油描 车 , 直到使用单位贮存设备、 传翰管道系娜直 到炉前管路 , 亦即凡与高纯气体相接触的一 切设备、 管路 、 仪表 、 阀 门等 因 为高纯气体 在制取 以后 或纯化提纯 以后 的任何沾污或 输送系统管路阀门的 任何微 小泄 漏 , 即使是 瞬时的恶化 , 也是不 准许的 一 且沾 污要 回 复原状就相 当困难 如果是管路受到污染 回 复原状则 需相 当长时 间, 并导致庞 大 摄失 因此人们越来越重视提高高纯气体供应的每 一个环节的---性 和 质 监视 在 国外 , 除 了改进空分装置直接 制取高纯 气体外 、 还着 重开发了大容童小体积的纯化装 置 随着---集成 电路集成度 的提高又 加 速 了各种气体输送系统的高沽净处理技术方 面做了大量工作 , 形 成系列 产 品 诸如控制 配管 、 接头 、 阀门的 内表面粗糙度 减少 内表 面积 , 减少使用另件的 漏 泄及 死 角 , 改进和 提高洗净方法 , 加强施工现场尘埃管理 , ,‘减少 施工 时污垢物的混 人等 总之 ,管道氮气置换方案, 对高纯 气体 输送系统的设计 , 施工及管理 日趋严格化 , 引 起 人 们 普 遍 关 注 , 我 们 借 鉴 下 面 一 张 关 于可以着出以污染为原因的图率缺陷--- 六成以上 , 作为污染 的 内容主要是尘块引越 的断路和短路以及其它杂质引起户勺绝缘低劣 等 因此进行高纯气体翰送系统的设计施工 以及加强对这个系统的管理是理所 当然 的事 情 板国 内、 随着 电子产 品 的更新换狡和清 净技术的广泛应用为高纯气体配套的产品和 系统的管配件阀门已 不是不可能的事了 。 然 而要认真解决好高纯气 体的贮存 , 输送技术 上的难题 , 寻求更合理的供气方式加速老管 网的改造 , 严格高纯气体输送系 统的管理 , 找 认为还有 “ 再谈” 和交流的---‘
储罐系统干燥和置换
储镶干燥和置换需用由液氮!临时气化系统提供来完成置换工作。***临时气化系统产生氮的气通过临时管道接入tl 203 镶系统的氮气管网,再进储罐内部内罐内,控制其进入罐内的流量,保持内罐a 区、拱顶a 区与 b 区环隙空间压力平衡。氮气可绕储罐 a 区、泵井和b 区循环。向储罐引人时,将罐顶中心吹扫喷嘴上的阀门部分打开,以 将储罐压力控制在 8( ± 0 . 5)
k.pa,并安全放空置换用氮气与空气的?昆合气体。液氮临时气化 系统{共应在开始时较低,在检查制氮装置的运行情况,且罐内形成氮气一空气界丽后,方可再缓慢纳加氮气供应量。
当内罐氧含量低于15%,对泵井管进行干燥和置换。氧含量低于8%,对 b 区进行干燥和置换。 在内罐的低于一20℃ 且氧含量低于4%时,完成 a 区的干燥和置换工作。当 b 区的露dian低于-10℃且氧含量低于 4%时,b 区完成干燥和置换。当 b 区的氧含:!jt低于 8%时,宦 接把 b 区的 氮气导人 c 区进行干燥和置换。调节八区 、b 区的氧气排放口的开度,使此二区的压力不得超过 i5 kpa , b 区氮气将通过 raj隙 渗透进罐底边缘板下部说凝土层及"'幅板下部的干砂到达内罐底中心部位,并通过初 级底部吹扫 1--l 排出 储嫌。
c 区进行干燥和置换过程中,a 区、日区的压力必须控制始终大于 c 区的压力,以免产生储罐底部破坏。当c 区氧含量低于 8%时,可以对d 区进行氮气干燥和置换。当初级底部吹扫处l驭样点的氧含量低于4%时, c 区置换合格,长输管道氮气置换,继 续对 c 区进行干燥直至储罐及管道系统的氮气干燥置换工作全部完成。
d 区干燥和l 置换先打开底部平衡「l , 从b 区平衡系统国流口引入喧与d 区相接顶角平衡口,再从底部平衡口置换出空气,控制 d 区的压力不可大于其它区的压力 ,同时保 持a 区、
b 区的压力不得超过 i 5kpa ,当底部平衡口处取样点的氧含于4%时,d 区置换合格,整个储罐完成干燥和置换。
一、氮气性质?
氮气无色、无臭、压缩---压的液态氮气相对密度0.81(-196℃),管道氮气置换,固态相对密度1.026(-252.5℃)。熔点-209.8℃,沸点-195.6℃。临界温度-147℃,临界压力密度1.026(-252.5℃)。熔点-209.8℃,沸点-195.6℃。临界温度-147℃,临界压力
氮标准:工业氮标准按gb/t?3864-1996执行,主要指标如下:
指标名称 | 指标 | ||
优等品 | 一等品 | 合格品 | |
氮气纯度10-2(v/v)***? | 99.5 | 99.5 | 98.5 |
氧含量?10-2(v/v)≤ | 0.5 | 0.5 | 1.5 |
水分(游离水,ml/瓶)≤ | - | 无 | - |
?oc?≤ | -43 | - | - |
氮气属不燃气体,危规编号:22005。应贮存于阴凉、通风处,仓温不宜超过30℃。应远离火种和热源,防止阳光直射。搬运时应轻装、轻卸,防止钢瓶及附件损坏。
氮气一般用40l钢瓶储存(存储氮气约4m3),压力10±0.5mpa。
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