（1）性气体
把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的sih4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，ph3与b2 h6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧危险性就越高，如b 2h6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有h 2，nh3，管道氮气置换，ph3，dcs，clf3 。
（2）毒性气体（toxic gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以ash3， b 2h6，ph3等气体的毒性---大，它们的阈限值tlv（threshold limited valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，管道置换氮气，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求---的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。no， c4f6，c5f8 ，nf3，ch 3f等都属于毒性气体。
（3）腐蚀性气体（corrosive gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如hcl， hf， pcl3， sif4，clf3，wf6等。
（4）惰性气体(inert gas)： 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有c2 f6，cf4，sf6，chf 3等。
（5）氧化性气体（oxide gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有clf3 ，cl2，nf3等。
注氮过程险的预防
为避免注氮过程中的风险，施工人员应首先将清管器置入
管道，继而逐渐排出管道中的氧气，打开出站阀门，注入
氮气。在此基础上，应采用以下手段对风险进行预防 ：(1) 人的
不安全行为预防 ：确定操作员工的精神状态及技能能力是否
满足工作需要。(2) 工艺检查 ：施工人员应于氮气置换前，对注
氮设备进行检查，长输管道氮气置换，判断设备连接是否完好，避免发生氮气泄露，
以免导致高浓度的氮气对施工人员的安全造成威胁。(3) 现场
工作环境检查，密闭环境或氮气容集聚的场加强通风，或采取
强制通风措施。(4) 应急措施--- ：工作现场有相应的应急预案
并有与之对应的应急救援器材。
zhidao管道氮气置换时氮气依照立方米来套定额，实际总数必须看用哪样方式 置换。用推水泵压力开关用的氮气是燃气管道容量的2倍上下；用吹除法是4倍上下，用变压置换法是8倍上下。就能做到低限。燃气管道建筑施工工程项目中必须氮气置换，燃气管道氮气置换，用以置换气体，避免 混合气体。可燃性气体根据的管道或器皿在应用前应以上用氮气置换设备。目地是置换出管道内的气体，防止气体与空气中的co2产生性化合物导致风险进很有可能导致內燃或。氮气置换机器设备包括：氮气对接收及隶属零配件、汽化容气对接收、氮气瓶及轿车槽车。期间，氮气瓶和槽车可以临时向事故当场结集。原理：因为氮的物理性质不开朗，不易与其他化学物质产生化学变化及其氮气具备比可轻的特点，运用氮气瓶的工作压力开展置换
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