（1）性气体
把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的sih4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，ph3与b2 h6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧危险性就越高，如b 2h6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有h 2，nh3，ph3，dcs，clf3 。
（2）毒性气体（toxic gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以ash3， b 2h6，ph3等气体的毒性---大，管道氮气置换，它们的阈限值tlv（threshold limited valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求---的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。no， c4f6，c5f8 ，nf3，ch 3f等都属于毒性气体。
（3）腐蚀性气体（corrosive gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如hcl， hf， pcl3，管道置换氮气， sif4，clf3，wf6等。
（4）惰性气体(inert gas)： 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有c2 f6，cf4，sf6，chf 3等。
（5）氧化性气体（oxide gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有clf3 ，cl2，nf3等。
不锈钢制管件是用来传输各种制程气体的主要管件，尤其是传输一些的危险性气体。所以不锈钢制管件的制作和施工要求在以上几种不同材质的管件中---为严格，一般对于p级要求（×10 -9级）制程气体的输送，均要求采用sus316材质的ep (electronic polishing)管材，对于一般非制程气体的输送采用sus316材质的ba （bright anneal）管材。sus316作为一种低含碳量的不锈钢材料，它不仅具有抗腐蚀性好的优点，而且对凹洞的抵抗性也---。由于ba管的制作是经过了溶解、压延（hot/cold rolling）、溶接(welding)、热处理(hot treatment)、研磨(polishing)等复杂过程，其表面粗糙度 rmax≦4.5mm。ep管材除了表面研磨等过程外，再加以电解研磨及精密洗净技术，其rmax≦0.7mm。
1、高压波纹软管 ：外表不锈钢金属网内衬ptfe材质，长度1米以上，通径大于6mm。一端符合标准钢瓶的连接型号，管道 氮气置换，另一端连接自动切换系统。承受大于3000psi。其特性为：洁净光亮、柔软、防腐。
2、低压报警器 ：低压报警器多触点可模拟数据输出型，报警器可蜂鸣闪光同时显示报警气体的名称。防爆接线、信号模拟和自动切换系统汇流排相匹配。
3、减压阀 ：316l不锈钢材质。一级减压阀进气压力0-200bar，出气压力0-16bar;二级减压阀进气压力0-16bar，出气压力0-6bar。进出口接口1/4” fnpt螺纹，压力表接口1/4” mnpt螺纹。
4、管道 ：管道采用内表面ba及316l astm a269标准不锈钢管道，316l不锈钢光亮退火，母材符合ba及高纯管道，管道的内表面处理值要小于0.37u。管道的标准：1/4”---1/2”壁厚0.88mm。zui大承受压力为300 bar，气管适用纯度等级为5.0的气体。
5、接头 ：采用316l不锈钢光亮退火，母材符合bji的高纯气路配件。双卡套设计。硬化处理之后卡套，具备对管子的耐震力及高抓力，使管子在任何情形下不易松脱而造成危险。后卡套内部有凹槽，安装时可以降低扭力，管道氮气置换，安装者可以轻易将接头锁至标准圈数。螺帽内部螺纹做镀银处理，具备安装时---的润滑，延长螺纹寿命。
念龙化工(图)-管道氮气置换由郑州念龙化工产品有限公司提供。郑州念龙化工产品有限公司（www.hnnlhg.com）有实力，---，在河南 郑州 的工业气体等行业积累了大批忠诚的客户。公司精益---的工作态度和不断的完善---理念将促进念龙化工和您携手步入，共创美好未来！
联系我们时请一定说明是在100招商网上看到的此信息，谢谢！
本文链接：https://tztz311544a1.zhaoshang100.com/zhaoshang/210041788.html
关键词：
滇公网安备 53011202000392号