1.实验室的用气量、用气点以及使用的什么气体，
2.实验室的结构，
3.气体存储装置点，
4.用气实验台结构及规格形状
5.实验室所在建筑的结构。
6.管件及组件的选材，根据气体类别和实验室需求选择
实验室气路安装系统组成
主要由气源切换系统(一级减压系统)、管道及连接件系统、二级调压系统、气体过滤纯化系统、气体报警系统、压力表、球阀等组成。
置换时，须遵循“先干管后支管，先远后近”的原则，
确定作业关键点。
注氮及氮气置换天ran气(空气)作业关键点确定(1) 注氮点、排氮点( 检测点) 选择。注氮点选择 ：对设有站
场的新建城镇管网，注氮点在站场内出站口附近 ；对未建
站场或需检修的城镇管网，注氮点应选择在管网起始端，且便
于停放、通行注氮车的开阔地段。排氮点选择 ：对无分支的管
道，排氮点应选择在管道末端 ；对有分支的管道，燃气管道氮气置换氧含量，排氮点应在
管道末端和分支管道末端分别设置。排氮点处应连接带有取样
检测口的放散火炬。
(2) 注 氮 温 度。注 氮 车 储 备 的 液 氮 温 度 极 低( 常 压 下
为-196℃)，直接注入会破坏管材物理化学性质，长输管道氮气置换，造成低温脆性
破坏。因此，应升温气化后才能注入管道，注氮温度不低于5℃，
以5 ～15℃为宜。
(3) 置换气量估算。根据工作经验，所用的氮气体积少应
为所置换管道容积的1.5 倍，为---置换完全，一般取2 倍较为
安全。
(4) 氮气流速。为避免管内杂质在高速流动的气体带动下
与管壁碰撞产生火花、pe 管中高速气流与管壁摩擦引起静电
积聚，从理论上讲氮气流速越慢越安全，但会导致置换时间过
长。通常按有关规定，控制在5m/s 以内。
(5) 注氮压力。压力过高易导致氮气流速过快而出现湍流
现象，影响置换效果。应在---温度和流量的要求范围内控制
压力，不大于管道的工作压力，管道氮气置换方案，操作过程中压力由低到高进行
控制，一般控制在0.1 ～0.2mpa 之间。
(6) 置换时间的估算。置换时间估算式 ：
式中 ：t 为达到合格标准所需的时间(h) ；v 为需置换管道的
容积(m3
) ；f 为放散孔的截面积(m2
) ；k 为置换系数( 取
2 ～3) ；w 为通过放散孔的气体流速(m/s)。
(7) 氮气浓度检测。氮气置换天ran气或空气时，当管道内n2
体积百分比大于98%(o2 体积含量小于2%)，且连续3 次( 每次
间隔不少于5min) 检测口浓度均达到此数值时，氮气置换作业
合格。
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体---时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体---进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（exhaust），管路节点如气瓶柜、vmb、工作台等均具有很强排气抽风系统，以---每一管路节点---都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏，排气抽风系统将------时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体---对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，---时紧急关闭上游所有气源，管道氮气置换，同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统lau，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程---严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将---人员不会有安全上的顾虑。
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