作业前，应具备作业管网运行状态---可控、社会( 用户)
---支持、具备动火作业条件、气象状况适合四个方面的条件，
这就要求进行---的前期测试、置换告知、办理动火审批、关注
气象预报。
(1) 前期测试。包括置换涉及在运和新建的管网及阀门的
切断性试验、调压器试验，管网升压试验。一般要求提前对进出
作业管网主阀门、分支管道阀门、调压器及进出口阀门的性能
进行测试检查，---状况---、启闭---。
(2) 置换告知。提前48h 将停气及恢复供气时间通知有关
部门及用户，作好宣传解释并告知用户停气期间注意事项，编
制应急预案并做好应急处置准备。
告知放散点附近的油库及加油站并达成共识 ：在
燃放作业时段必须停止收发油及加油作业。
(3) 动火审批。制定动火作业方案和填写动火作业审批报
告，逐级审批 ；动火前进行现场准备工作和安全检查。
(4) 气象关注。提前关注作业时段气象预报，管道置换氮气，置换作业应避
开雨、雪、雷、雹及6 级以上大风的天气。
物质准备
主要包括交通工具、通信设备、安全设施、检测仪器、放散
设施、---设备( 氮气储存车辆及气化设备)、防爆型( 照明、通
风) 设备等，管道氮气置换，须逐一准备---并---状况---。
抢修准备
针对应急预案，组建抢修队伍并---，配备---的抢
修装备、物资，以应对可能出现的故障或事故。
不锈钢制管件是用来传输各种制程气体的主要管件，尤其是传输一些的危险性气体。所以不锈钢制管件的制作和施工要求在以上几种不同材质的管件中---为严格，一般对于p级要求（×10 -9级）制程气体的输送，均要求采用sus316材质的ep (electronic polishing)管材，对于一般非制程气体的输送采用sus316材质的ba （bright anneal）管材。sus316作为一种低含碳量的不锈钢材料，它不仅具有抗腐蚀性好的优点，而且对凹洞的抵抗性也---。由于ba管的制作是经过了溶解、压延（hot/cold rolling）、溶接(welding)、热处理(hot treatment)、研磨(polishing)等复杂过程，其表面粗糙度 rmax≦4.5mm。ep管材除了表面研磨等过程外，再加以电解研磨及精密洗净技术，其rmax≦0.7mm。
（1）性气体
把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的sih4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，ph3与b2 h6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧危险性就越高，如b 2h6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有h 2，nh3，ph3，dcs，clf3 。
（2）毒性气体（toxic gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以ash3，管道氮气置换方案， b 2h6，ph3等气体的毒性---大，它们的阈限值tlv（threshold limited valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求---的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。no， c4f6，c5f8 ，nf3，ch 3f等都属于毒性气体。
（3）腐蚀性气体（corrosive gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如hcl， hf， pcl3， sif4，clf3，wf6等。
（4）惰性气体(inert gas)： 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有c2 f6，cf4，sf6，chf 3等。
（5）氧化性气体（oxide gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有clf3 ，cl2，nf3等。
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