液化气
主要成分由---(c3h8)、---
(c4h10)组成,部分中还会含有
(c3h6)以及---(c4h8)成分,因此液化石you
气也俗称为 c3、c4。
lpg 常压下为气态,本身无色无味,具有气
体性质,经过加压和降温处理后可成为液态,密
度相应增大。lpg 闪点为 -74 ℃,引燃温度为
426~537 ℃,---在 5% ~9.65%。lpg 的热
值较大,燃烧温度可--- 1 900 ℃。
lpg 体积膨张系数大约是同温度下水体积膨
胀系数的 10~6 倍,随着温度的升高,lpg 液态
体积会不断的膨胀,气态压力也会不断增加,温
度每升高 l ℃,体积膨胀约为 0.3%~0.4%,气压
增加约 0.2~0.3 mpa。
lpg ,比、柴油等有的火
灾危险性。lpg 液态时的比重比水轻,气态
时的比重为空气的 1.56 倍。由于 lpg 比空气重,
因此,lpg 从管道或容器中泄漏出来时,会像水
一样往地面低洼处流动和---,很容易达到的爆
扎浓度,在遇到静电或火花时非常容易引起火灾
事故。
氮气在液化气中的溶解性
氮气难溶于水,燃气管道氮气置换氧含量,在常温常压下,1 体积水中
约溶解 0.02 体积的氮气。氮气是难液化气体,在
液化气中的溶解度比较低,但是无明确的氮气在
液化气中的溶解度数据。
液化气的气化
lpg 的气液态体积比值大,液态的 lpg 挥发
性较强,在液态 lpg 挥发成气体时,其体积能够
迅速扩大 250~300 倍,因此极易引起设备超压。
整 个输送系统必 须有高度的 气密性 和严格的沽净度 。 供气方式的选择 、 一个集 中 目前国 内还没有 区域性 的 管道供气方式, 除 自备 “ 空 分 ” 装 置 外 , 大多 为商品 气、 诸如北 京 、 上 海 、 江 苏、 浙 江 的 一 些集成 电路厂越来越多地改用 液态 源集 中气 化供应 , 据说在 公里范围 内有液态源 , 还 是有使用的可取之 处 , 然 而不论是 用 液态 还 是气态 , 将贮存容器集 中输送为 好 , 更有利于 安全管理、 两种选择 图 是上 无 十 四 厂 气站 直 接 向 各 车 间 供应 电子纯液氧 , 液氮的系统流 程 图 。 第二种选择 , 我们可 以参照 图 ,管道氮气置换, 它是贝 岭公司气站集 中供应 个 液氮液氧再经纯 化装置后 向工艺车间供应高纯氮 , 高纯 氧的 系统流程图 。 、 三个方式丫夕、, 户 气站高纯气 使用点 关于管径和管路形式 气体输送系统的详细设计固然要以有关 技术规 程 和 安全 法 规为基 础 , 进行 流量 估 算 , 采用经济合理的流速 ,管道氮气置换, 考虑到使用压力和 管阻及输送距离 , 确定合理的管径和管路形 式。 在上无 四 厂 , 我们对多个生产车伺 , 采 用在气站设 分气 缸 图 作 辐射 状安装 , 各车间管径相 同, 独立一路, 力避相互窜气干 扰 , 保持工作 压 力 稳定 当 时设计 压 力 仅为 一 勺, 使用管理和维护方便 , 而在贝岭‘ 公司全部管路成树枝状 延伸 , 干 管统一为 一 个 口 径 支管 又 统 一 为 一 个 口 径 。
气体管件在安装时,施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行,这样可以减少使用接头的数量,降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接---好以轨道式焊接法(orbital welding)来接合,燃气管道氮气置换方案,对于不锈钢的焊接要采用弧焊,并向施焊管内通入同等纯度的气,这样可以---连接的品质,并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳,从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封(metal to metal face seal)的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有vcr 和swagelok两种,具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下,vcr式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上,管路连接后接头里面的垫圈(gasket)将会适度变形以---管路每秒低于10 -9cc的---气泄漏率(leakage rate)。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合---或气体---。swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及cda等气体的传输上,因为这些气体可以容许一定的---率,所以不常用成本较高且须焊接的vcr式接头。总的来说,管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量,因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
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