（1）性气体
把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的sih4气体只要与空气接触就会燃烧，燃气管道氮气置换，当环境温度达到一定时，ph3与b2 h6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧危险性就越高，如b 2h6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有h 2，nh3，ph3，dcs，clf3 。
（2）毒性气体（toxic gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以ash3， b 2h6，ph3等气体的毒性---大，它们的阈限值tlv（threshold limited valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求---的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。no， c4f6，c5f8 ，nf3，管道氮气置换，ch 3f等都属于毒性气体。
（3）腐蚀性气体（corrosive gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如hcl， hf， pcl3， sif4，clf3，wf6等。
（4）惰性气体(inert gas)： 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有c2 f6，长输管道氮气置换，cf4，sf6，chf 3等。
（5）氧化性气体（oxide gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有clf3 ，cl2，nf3等。
储罐系统干燥和置换
储镶干燥和置换需用由液氮！临时气化系统提供来完成置换工作。***临时气化系统产生氮的气通过临时管道接入tl 203 镶系统的氮气管网，再进储罐内部内罐内，控制其进入罐内的流量，管道氮气置换方案，保持内罐a 区、拱顶a 区与 b 区环隙空间压力平衡。氮气可绕储罐 a 区、泵井和b 区循环。向储罐引人时，将罐顶中心吹扫喷嘴上的阀门部分打开，以 将储罐压力控制在 8( ± 0 . 5)
k.pa，并安全放空置换用氮气与空气的？昆合气体。液氮临时气化 系统｛共应在开始时较低，在检查制氮装置的运行情况，且罐内形成氮气一空气界丽后，方可再缓慢纳加氮气供应量。
当内罐氧含量低于15%，对泵井管进行干燥和置换。氧含量低于8%，对 b 区进行干燥和置换。 在内罐的低于一20℃ 且氧含量低于4%时，完成 a 区的干燥和置换工作。当 b 区的露dian低于－10℃且氧含量低于 4%时，b 区完成干燥和置换。当 b 区的氧含:!jt低于 8%时，宦 接把 b 区的 氮气导人 c 区进行干燥和置换。调节八区 、b 区的氧气排放口的开度，使此二区的压力不得超过 i5 kpa ， b 区氮气将通过 raj隙 渗透进罐底边缘板下部说凝土层及＂＇幅板下部的干砂到达内罐底中心部位，并通过初 级底部吹扫 1--l 排出 储嫌。
c 区进行干燥和置换过程中，a 区、日区的压力必须控制始终大于 c 区的压力，以免产生储罐底部破坏。当c 区氧含量低于 8%时，可以对d 区进行氮气干燥和置换。当初级底部吹扫处l驭样点的氧含量低于4%时， c 区置换合格，继 续对 c 区进行干燥直至储罐及管道系统的氮气干燥置换工作全部完成。
d 区干燥和l 置换先打开底部平衡「l ， 从b 区平衡系统国流口引入喧与d 区相接顶角平衡口，再从底部平衡口置换出空气，控制 d 区的压力不可大于其它区的压力 ，同时保 持a 区、
b 区的压力不得超过 i 5kpa ，当底部平衡口处取样点的氧含于4%时，d 区置换合格，整个储罐完成干燥和置换。
一、氮气性质?
氮气无色、无臭、压缩---压的液态氮气相对密度0.81（-196℃），固态相对密度1.026（-252.5℃）。熔点-209.8℃，沸点-195.6℃。临界温度-147℃，临界压力密度1.026（-252.5℃）。熔点-209.8℃，沸点-195.6℃。临界温度-147℃，临界压力
氮标准：工业氮标准按gb/t?3864-1996执行，主要指标如下：
| 指标名称 | 指标 | ||
| 优等品 | 一等品 | 合格品 | |
氮气纯度10-2（v/v）***? | 99.5 | 99.5 | 98.5 |
| 氧含量?10-2（v/v）≤ | 0.5 | 0.5 | 1.5 |
| 水分（游离水，ml/瓶）≤ | - | 无 | - |
| ?oc?≤ | -43 | - | - |
氮气属不燃气体，危规编号:22005。应贮存于阴凉、通风处，仓温不宜超过30℃。应远离火种和热源，防止阳光直射。搬运时应轻装、轻卸，防止钢瓶及附件损坏。
氮气一般用40l钢瓶储存(存储氮气约4m3)，压力10±0.5mpa。
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