管道 氮气置换-管道氮气置换-念龙化工

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    2020-12-22

张经理
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实验室气路安装5
气体管件在安装时,施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行,管道氮气置换,这样可以减少使用接头的数量,降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接---好以轨道式焊接法(orbital welding)来接合,对于不锈钢的焊接要采用弧焊,并向施焊管内通入同等纯度的气,这样可以---连接的品质,并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳,从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封(metal to metal face seal)的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有vcr 和swagelok两种,具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下,vcr式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上,管路连接后接头里面的垫圈(gasket)将会适度变形以---管路每秒低于10 -9cc的---气泄漏率(leakage rate)。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合---或气体---。swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及cda等气体的传输上,因为这些气体可以容许一定的---率,燃气管道氮气置换,所以不常用成本较高且须焊接的vcr式接头。总的来说,管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量,因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
危险气体的---事项
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者,每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解,并且应该知道如何应对这些气体---时的紧急处理程序。一般来讲,我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体---进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路;第二个是持续不断的排气抽风系统(exhaust),管路节点如气瓶柜、vmb、工作台等均具有很强排气抽风系统,以---每一管路节点---都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏,管道 氮气置换,排气抽风系统将------时间抽出;另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统,长输管道氮气置换,若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到,这个控制系统将根据气体---对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作,---时紧急关闭上游所有气源,同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统lau,甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散,要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程---严格按照所制定的标准作业程序操作,所有这些安全装置都将---人员不会有安全上的顾虑。

实验室气体管路(简称气路)是现代实验室必不可少的组成部分,气体管路为色谱仪、原子吸收、微库仑定硫、量热仪、微量硫分析等仪器提供安全---的气体,---分析数据的准确性和延长仪器的使用寿命。可以说气路在现代实验室中的---是举足轻重的。

   例如气体管路实验室分析仪器,气体管路非标实验设备,气体管路连接及接头的设计加工。从气瓶房到实验室气体管路的气体管线,实验室内气路箱的设计安装,气体报警装置的设计安装。


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