作为半导体晶圆代工厂气体的使用者,每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解,并且应该知道如何应对这些气体---时的紧急处理程序。一般来讲,我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体---进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路;第二个是持续不断的排气抽风系统(exhaust),管路节点如气瓶柜、vmb、工作台等均具有很强排气抽风系统,管道氮气置换,以---每一管路节点---都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏,排气抽风系统将------时间抽出;另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统,若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到,这个控制系统将根据气体---对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作,---时紧急关闭上游所有气源,同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统lau,甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散,要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程---严格按照所制定的标准作业程序操作,所有这些安全装置都将---人员不会有安全上的顾虑。
置换方法分类
天ran气管道置换方法分直接置换法和间接置换法。
直接置换法是采用天ran气置换燃气设施中空气的方法 ;
操作方便、快捷、经济,但具有一定的危险性。
间接置换法是采用惰性气体( 或氮气) 置换燃气设施中空
气,再用天ran气置换惰性气体( 或氮气) 的方法;操作程序繁多、
费用高昂,但安全---。
置换方法选用
对管径小或长度短的管道,在---安全的前提下,可选用
直接置换法,这是因为上述管道容积有限,管道置换氮气,产生的混合气体体
量受限,混合气体浓度停留在---范围内的时间较短,燃气管道氮气置换方案,容
易控制 ;否则应选用间接置换法。据有关燃气企业规定,对主
管道和直径大于90mm 的分支管道,如置换量不超过2.5 m3,
可直接置换 ;如置换量超过2.5 m3,应进行间接置换 ;对直径
不大于90mm 的分支管道,可直接置换。
置换步骤
新建天ran气管运前,氮气置换步骤为 :
(1) 氮气置换出管网内的空气 ;
(2) 天ran气置换出管网内的氮气。
在运天ran气管网进行检修时,首先需将管网内的天ran气
安全放散后方可进行氮气置换,其步骤为 :
(1) 氮气置换( 又称一次注氮) 出管网内残留天ran气,长输管道氮气置换,合格
后方可施工作业 ;
(2) 施工完成后,再使用氮气置换( 又称二次注氮) 管网内
存在的氮气和新进入的空气混合气体 ;
(3) 天ran气置换出管网内的氮气。
整 个输送系统必 须有高度的 气密性 和严格的沽净度 。 供气方式的选择 、 一个集 中 目前国 内还没有 区域性 的 管道供气方式, 除 自备 “ 空 分 ” 装 置 外 , 大多 为商品 气、 诸如北 京 、 上 海 、 江 苏、 浙 江 的 一 些集成 电路厂越来越多地改用 液态 源集 中气 化供应 , 据说在 公里范围 内有液态源 , 还 是有使用的可取之 处 , 然 而不论是 用 液态 还 是气态 , 将贮存容器集 中输送为 好 , 更有利于 安全管理、 两种选择 图 是上 无 十 四 厂 气站 直 接 向 各 车 间 供应 电子纯液氧 , 液氮的系统流 程 图 。 第二种选择 , 我们可 以参照 图 , 它是贝 岭公司气站集 中供应 个 液氮液氧再经纯 化装置后 向工艺车间供应高纯氮 , 高纯 氧的 系统流程图 。 、 三个方式丫夕、, 户 气站高纯气 使用点 关于管径和管路形式 气体输送系统的详细设计固然要以有关 技术规 程 和 安全 法 规为基 础 , 进行 流量 估 算 , 采用经济合理的流速 , 考虑到使用压力和 管阻及输送距离 , 确定合理的管径和管路形 式。 在上无 四 厂 , 我们对多个生产车伺 , 采 用在气站设 分气 缸 图 作 辐射 状安装 , 各车间管径相 同, 独立一路, 力避相互窜气干 扰 , 保持工作 压 力 稳定 当 时设计 压 力 仅为 一 勺, 使用管理和维护方便 , 而在贝岭‘ 公司全部管路成树枝状 延伸 , 干 管统一为 一 个 口 径 支管 又 统 一 为 一 个 口 径 。
长输管道氮气置换-管道氮气置换-念龙化工(查看)由郑州念龙化工产品有限公司提供。郑州念龙化工产品有限公司是一家从事“高纯气体生产,标准气体经营,混合气体生产”的公司。自成立以来,我们坚持以“诚信为本,---经营”的方针,勇于参与市场的良性竞争,使“念龙”品牌拥有------。我们坚持“服务为先,用户”的原则,使念龙化工在工业气体中赢得了众的客户的---,树立了---的企业形象。 ---说明:本信息的图片和资料仅供参考,欢迎联系我们索取准确的资料,谢谢!
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