气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接---好以轨道式焊接法（orbital welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以---连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有vcr 和swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，vcr式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（gasket）将会适度变形以---管路每秒低于10 -9cc的---气泄漏率（leakage rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合---或气体---。swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及cda等气体的传输上，管道氮气置换，因为这些气体可以容许一定的---率，所以不常用成本较高且须焊接的vcr式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
置换时，须遵循“先干管后支管，先远后近”的原则，
确定作业关键点。
注氮及氮气置换天ran气(空气)作业关键点确定(1) 注氮点、排氮点( 检测点) 选择。注氮点选择 ：对设有站
场的新建城镇管网，注氮点在站场内出站口附近 ；对未建
站场或需检修的城镇管网，注氮点应选择在管网起始端，且便
于停放、通行注氮车的开阔地段。排氮点选择 ：对无分支的管
道，管道氮气置换方案，排氮点应选择在管道末端 ；对有分支的管道，排氮点应在
管道末端和分支管道末端分别设置。排氮点处应连接带有取样
检测口的放散火炬。
(2) 注 氮 温 度。注 氮 车 储 备 的 液 氮 温 度 极 低( 常 压 下
为-196℃)，直接注入会破坏管材物理化学性质，造成低温脆性
破坏。因此，应升温气化后才能注入管道，注氮温度不低于5℃，
以5 ～15℃为宜。
(3) 置换气量估算。根据工作经验，所用的氮气体积少应
为所置换管道容积的1.5 倍，为---置换完全，一般取2 倍较为
安全。
(4) 氮气流速。为避免管内杂质在高速流动的气体带动下
与管壁碰撞产生火花、pe 管中高速气流与管壁摩擦引起静电
积聚，从理论上讲氮气流速越慢越安全，但会导致置换时间过
长。通常按有关规定，控制在5m/s 以内。
(5) 注氮压力。压力过高易导致氮气流速过快而出现湍流
现象，影响置换效果。应在---温度和流量的要求范围内控制
压力，不大于管道的工作压力，操作过程中压力由低到高进行
控制，一般控制在0.1 ～0.2mpa 之间。
(6) 置换时间的估算。置换时间估算式 ：
式中 ：t 为达到合格标准所需的时间(h) ；v 为需置换管道的
容积(m3
) ；f 为放散孔的截面积(m2
) ；k 为置换系数( 取
2 ～3) ；w 为通过放散孔的气体流速(m/s)。
(7) 氮气浓度检测。氮气置换天ran气或空气时，当管道内n2
体积百分比大于98%(o2 体积含量小于2%)，且连续3 次( 每次
间隔不少于5min) 检测口浓度均达到此数值时，氮气置换作业
合格。
1、高压波纹软管 ：外表不锈钢金属网内衬ptfe材质，长度1米以上，管道氮气置换，通径大于6mm。一端符合标准钢瓶的连接型号，另一端连接自动切换系统。承受大于3000psi。其特性为：洁净光亮、柔软、防腐。
2、低压报警器 ：低压报警器多触点可模拟数据输出型，报警器可蜂鸣闪光同时显示报警气体的名称。防爆接线、信号模拟和自动切换系统汇流排相匹配。
3、减压阀 ：316l不锈钢材质。一级减压阀进气压力0-200bar，出气压力0-16bar;二级减压阀进气压力0-16bar，出气压力0-6bar。进出口接口1/4” fnpt螺纹，压力表接口1/4” mnpt螺纹。
4、管道 ：管道采用内表面ba及316l astm a269标准不锈钢管道，316l不锈钢光亮退火，母材符合ba及高纯管道，管道 氮气置换，管道的内表面处理值要小于0.37u。管道的标准：1/4”---1/2”壁厚0.88mm。zui大承受压力为300 bar，气管适用纯度等级为5.0的气体。
5、接头 ：采用316l不锈钢光亮退火，母材符合bji的高纯气路配件。双卡套设计。硬化处理之后卡套，具备对管子的耐震力及高抓力，使管子在任何情形下不易松脱而造成危险。后卡套内部有凹槽，安装时可以降低扭力，安装者可以轻易将接头锁至标准圈数。螺帽内部螺纹做镀银处理，具备安装时---的润滑，延长螺纹寿命。
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