（1）性气体
把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的sih4气体只要与空气接触就会燃烧，管道置换氮气，当环境温度达到一定时，ph3与b2 h6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧危险性就越高，如b 2h6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有h 2，nh3，ph3，dcs，clf3 。
（2）毒性气体（toxic gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以ash3， b 2h6，ph3等气体的毒性---大，它们的阈限值tlv（threshold limited valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求---的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。no，管道氮气置换， c4f6，c5f8 ，nf3，ch 3f等都属于毒性气体。
（3）腐蚀性气体（corrosive gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如hcl， hf， pcl3， sif4，clf3，燃气管道氮气置换，wf6等。
（4）惰性气体(inert gas)： 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有c2 f6，cf4，sf6，chf 3等。
（5）氧化性气体（oxide gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有clf3 ，cl2，nf3等。
气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，燃气管道氮气置换方案，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接---好以轨道式焊接法（orbital welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以---连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有vcr 和swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，vcr式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（gasket）将会适度变形以---管路每秒低于10 -9cc的---气泄漏率（leakage rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合---或气体---。swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及cda等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的---率，所以不常用成本较高且须焊接的vcr式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
1.按置换段管道或管段的增加公里---劳动量。2.按置换段管道或管段的水容量乘于置换的倍率---氮气使用量，考虑到工作压力、溫度等要素的危害，综合性取定1米3液氮汽化为650m3氮气。（比如：720管道64km，水容量26041，空管1.5倍39062.4方，换算为液氮为60方。）3.氮气做为预算定额的“未计费原材料”另算其原材料价格（要求：罐装氮气损耗量为10%，液氮损耗量为5%），罐装氮气价钱按工程项目所在城市价格行情，液氮按子公司內部统一价1800元/m3计。4.依据标准要求，站内机器设备及加工工艺管e5a48de589a67a6431333337613231道内汽体运用外站管道内氮气开展置换，若独立对某站场机器设备及加工工艺管道开展氮气置换，置换量为网站内部机器设备、管道水容量的10倍，按网站内部主计量检定管道的规格型号换算为管道的长短（若长短不够1km按1km计），计算方法为：l=（v机器设备 v管道）×10/（0.25×π×d2）（km）在其中：d——主计量检定管段內径。非常备注名称：（站场一般按20方---，约200方，不够0.5方液氮量，但一般按1方液氮计取。）5.dn400下列的管道是按氮气瓶集装箱阁气路或制氮车当场制氮气定编的，若dn200之内、dn300之内、dn400之内管道因工程项目实3际必须用液氮汽化开展氮气置换，则可替代dn600之内“液氮汽化气路置换”子目“5-3402”，但应乘于相对的换算指数对该预算定额开展换算，换算指数见下表：
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