气体管件在安装时,施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行,这样可以减少使用接头的数量,降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接---好以轨道式焊接法(orbital welding)来接合,对于不锈钢的焊接要采用弧焊,并向施焊管内通入同等纯度的气,这样可以---连接的品质,并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳,管道氮气置换,从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封(metal to metal face seal)的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有vcr 和swagelok两种,具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下,vcr式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上,管路连接后接头里面的垫圈(gasket)将会适度变形以---管路每秒低于10 -9cc的---气泄漏率(leakage rate)。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合---或气体---。swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及cda等气体的传输上,因为这些气体可以容许一定的---率,所以不常用成本较高且须焊接的vcr式接头。总的来说,燃气管道氮气置换方案,管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量,因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
管道氮气置换前应由施工单位、监理单位、建设单位和生产部门联合检查确认现场置换条件
当氮气所填充管段内压力达到规定压力,经测氧仪检测末端出口氧气浓度含量应小于规定值,管道氮气置换,并且连续3次(每次间隔5分钟)达到此值,注氮作业合格予以验收。
验收合格后,如果不立即引入,应对置换管段进行密封保存。填写并完善管道氮气置换记录。
3 置换对氮气的要求及氮气量的计算 (1) 对氮气的要求。长输管道置换对氮 气的要求 : 氮气出口温度必须高于 5 ℃; 注到管道 里氮气中的含氧量要低于 2 %。 (2) 氮气量的计算。庆哈管道对双合首站及双 合首站至 1 # 阀室的 151 866 km 管道进行氮气置换 , 根据氮气置换管路容积计算氮气用量。置换完成后 压力达到 0104 mpa , 共需用氮气量约为 8 900 m3 。 若采用液氮时 , 1 t 液氮转化为 1 个标准--- 压、5 ℃状态下的氮气体积为 808 m3 。
4 氮气置换过程 (1) 注氮地点的选择。全线只选择一个注氮 口 ,长输管道氮气置换, 地点选择在首站 , 氮气顺气流方向进行置换。 (2) 计算氮气与空气混气头到达阀室时间。根 据氮气的流速 , 计算出氮气至空气混气段气头到达 阀室的预计时间 , 方便操作人员按时在阀室进 体检测等操作。庆哈管道工程于 2007 年 11 月 20 日 10 时开始氮气置换 , 氮气至空气混气段气头到 达 1 # 阀室的预计时间为 20 时 10 分。 (3) 氮气置换操作方法。将注氮车连接首站管 道 , 注氮过程中 , 在下游阀室进行引气放空。首站 先置换主管道 , 当在出站的管道上检测到纯氮气 后 , 分别对放空和排污管线进行置换 , 方法是将 dn50 以上阀门打开 30 %后立即关闭、dn50 及以 下阀门全开然后关闭。 根据---氮气与空气混气头到达阀室的时间。 提前在阀室用 0~25 %便携式含氧量分析仪在管道 上压力变送器或压力表的取样口检测氮气和空气混 合段气体的含氧量 , 当检测到氧气含量从 21 %开 始下降时 , 证明氮气和空气混气头已到检测点 , 再 继续检测 , 当检测到氧气含量降至 2 %时 , 既可认 为管路内是纯氮气 , 然后停止放空直至管路压力升 至 0104 mpa 时氮气置换工作完成。
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