（1）性气体
把自燃、、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的sih4气体只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，ph3与b2 h6等气体也会产生自燃。可燃气体都有一定的着火燃烧范围，即上限、下限值。此范围越大的气体起燃烧危险性就越高，燃气管道氮气置换，如b 2h6的上限为98%，下限为0.9%。属于气体有h 2，nh3，长输管道氮气置换，ph3，dcs，clf3 。
（2）毒性气体（toxic gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对人体有害、有毒的。其中又以ash3， b 2h6，ph3等气体的毒性---大，它们的阈限值tlv（threshold limited valve）分别只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮存、输送以及使用的过程中都要求---的小心。一般都应该采取特定的技术措施来控制使用这些气体。no， c4f6，c5f8 ，nf3，ch 3f等都属于毒性气体。
（3）腐蚀性气体（corrosive gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如hcl，管道氮气置换， hf， pcl3， sif4，clf3，wf6等。
（4）惰性气体(inert gas)： 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成事故。属于这类的气体有c2 f6，cf4，sf6，chf 3等。
（5）氧化性气体（oxide gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有clf3 ，cl2，nf3等。
2、气瓶柜的技术要求为铝型35×35框架，柜门、侧板采用金属冷轧板，均用环氧树脂粉沫喷涂，燃气管道氮气置换方案，内设可活动的气瓶抱箍，便于气瓶的更换和移动。地脚为不锈钢螺丝、尼龙罩盖、橡胶底座组合结构，可调节高度为0—0.3m。配置了气体泄漏报警、温度数字指示、气体泄露时自动排放。具有防爆、阻燃等功能。
3、实验室应按照房间大小比例设计相应数量带逆风阀的换气扇，使空气流通顺畅，保持清洁。每个房间都要设计带有过滤装置的通气孔，如果是带有室内走廊的房间也可在门窗上设百叶窗，尺寸按照排气量比例关系计算。
置换方法分类
天ran气管道置换方法分直接置换法和间接置换法。
直接置换法是采用天ran气置换燃气设施中空气的方法 ；
操作方便、快捷、经济，但具有一定的危险性。
间接置换法是采用惰性气体( 或氮气) 置换燃气设施中空
气，再用天ran气置换惰性气体( 或氮气) 的方法；操作程序繁多、
费用高昂，但安全---。
置换方法选用
对管径小或长度短的管道，在---安全的前提下，可选用
直接置换法，这是因为上述管道容积有限，产生的混合气体体
量受限，混合气体浓度停留在---范围内的时间较短，容
易控制 ；否则应选用间接置换法。据有关燃气企业规定，对主
管道和直径大于90mm 的分支管道，如置换量不超过2.5 m3，
可直接置换 ；如置换量超过2.5 m3，应进行间接置换 ；对直径
不大于90mm 的分支管道，可直接置换。
置换步骤
新建天ran气管运前，氮气置换步骤为 ：
(1) 氮气置换出管网内的空气 ；
(2) 天ran气置换出管网内的氮气。
在运天ran气管网进行检修时，首先需将管网内的天ran气
安全放散后方可进行氮气置换，其步骤为 ：
(1) 氮气置换( 又称一次注氮) 出管网内残留天ran气，合格
后方可施工作业 ；
(2) 施工完成后，再使用氮气置换( 又称二次注氮) 管网内
存在的氮气和新进入的空气混合气体 ；
(3) 天ran气置换出管网内的氮气。
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