干燥和置换方式的选挥
t l2 03 储罐的氮气干燥和置换,其容积达19. 78 万时,置换方法的选择将影响储罐置换的总体进度,从此次置换过程来分析,实际施工时可以灵活的选用任何一种方法进行,但对于此类初期置换容和、,大内部空间 空气体积量较 大的可优先采用连续干燥和置换的方式进行,在一定压力下连续置换效果与初期有所下降时,及早改用压涨式进行置,换此二种方法相结合对加快储罐系统干燥和置换发挥了---作用。
5.3. 2 置换路径方面的优化
储罐系统置换所分的四个区,每个区置换的时间要求均不 同,管道 氮气置换,从重要程度、难度方面分析,从工施的可行性这一角度进行论证,可将 a 区与b 区在置换接近设定标准值前,提前用其处的氮气对c 区与 d 区同时进行干燥与置换,多点同时进行的方法相当于缩短了系统置换时间。
5. 3. 3 升、力速度的控制
氮气干燥置换过程中, 每小时压力变化不能超过 2kpa,同时---注意在升压时要---各区压力情况为:a 区;,二, b 区 注c 区>d 区。次压涨式进行干燥和置换时,压力范围可控制到3~ lokpa 左右,之后的可控制到5 ~ iokpa 左右,加减压排放的方式进行加强巩固干燥效果时,尽可能小的升、力速度,以免压力波动对储罐系统带来不可预见的影响。
5. 3.4 干燥和置换介质讨论
干燥和置换介质从( 干燥、置换和冷去h>描 述需要选择惰性气体,从经济、适用上优先选用相对便宜且较为容易获取的氮气进行置换工作,管道氮气置换,置换过程 中可在适当的时间给氮气进行加热处理, 作用为加速空气与氮气的混合,有利于罐内空气及水份的排出,加快达到罐内、 含氧量的要求。 2、气瓶柜的技术要求为铝型35×35框架,柜门、侧板采用金属冷轧板,均用环氧树脂粉沫喷涂,内设可活动的气瓶抱箍,便于气瓶的更换和移动。地脚为不锈钢螺丝、尼龙罩盖、橡胶底座组合结构,可调节高度为0—0.3m。配置了气体泄漏报警、温度数字指示、气体泄露时自动排放。具有防爆、阻燃等功能。 3、实验室应按照房间大小比例设计相应数量带逆风阀的换气扇,使空气流通顺畅,保持清洁。每个房间都要设计带有过滤装置的通气孔,如果是带有室内走廊的房间也可在门窗上设百叶窗,尺寸按照排气量比例关系计算。
作为半导体晶圆代工厂气体的使用者,每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解,并且应该知道如何应对这些气体---时的紧急处理程序。一般来讲,我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体---进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路;第二个是持续不断的排气抽风系统(exhaust),管路节点如气瓶柜、vmb、工作台等均具有很强排气抽风系统,以---每一管路节点---都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏,长输管道氮气置换,排气抽风系统将------时间抽出;另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统,管道氮气置换方案,若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到,这个控制系统将根据气体---对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作,---时紧急关闭上游所有气源,同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统lau,甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散,要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程---严格按照所制定的标准作业程序操作,所有这些安全装置都将---人员不会有安全上的顾虑。
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