气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接---好以轨道式焊接法（orbital welding）来接合，天燃气管道的氮气置换，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，这样可以---连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有vcr 和swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，vcr式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（gasket）将会适度变形以---管路每秒低于10 -9cc的---气泄漏率（leakage rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合---或气体---。swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及cda等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的---率，管道氮气置换，所以不常用成本较高且须焊接的vcr式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
根据上游供气能力、管径及流速 ， --- 出每小时的供气量。投产时控制流量 ， --- 管道中流速不大于 5 m/ s。 根据---的混气头到达各阀室和场站的时间 ， 提前在下游的阀室和场站进体检测 ， 先用便携 式含氧量分析仪在主管道上检测氮气含量 ， 当检测 到纯氮气时 ， 立即对放空和排污管线进行氮气置 换。然后再接着采用量程为 0～100 %的便携式可 燃气体检测仪对氮气与混气段进行检测 ， 当 氮气与混气段通过检测地点时 ，管道置换氮气， 混气段的天 ran气含量将从 0 逐渐上升 ，
5 置换投产 (1) 计算与氮气混气头到达各阀室、场 站时间。根据的流速 ， 计算出氮气与空气混 气头和与氮气混气段气头到达各阀室及末站 的预计时间 ， 方便操作人员按时在场站、阀室进气体检测等操作。庆哈管道于 2007 年 12 月 5 日投 产 ， 投产期间混气段气头到达各阀室及末站实际时 间和计划时间基本吻合。 (2) 投产置换方法。置换投产采用气推 气的置换方式。即推动氮气、氮气推动空气 的置换方式。庆哈管道工程投产时直接从哈尔滨末 站引气放空 ， 先置换主管线 ，天燃气管道氮气置换， 再置换阀室和场站放 空和排污等管线。投产期间用上游供气阀门调节天 ran气流量 ， 推动提前注入的氮气段开始进行 线路、阀室和场站的置换 ， 全线置换期间 ， 分别在 下游阀室和场站进行引气放空 ， 并对沿线阀室、场站各检测点的检测情况及时进行沿线阀室、场站放 空和排污等管线的氮气、置换。 根据上游供气能力、管径及流速 ， --- 出每小时的供气量。
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