整 个输送系统必 须有高度的 气密性 和严格的沽净度 。 供气方式的选择 、 一个集 中 目前国 内还没有 区域性 的 管道供气方式, 除 自备 “ 空 分 ” 装 置 外 , 大多 为商品 气、 诸如北 京 、 上 海 、 江 苏、 浙 江 的 一 些集成 电路厂越来越多地改用 液态 源集 中气 化供应 , 据说在 公里范围 内有液态源 , 还 是有使用的可取之 处 , 然 而不论是 用 液态 还 是气态 , 将贮存容器集 中输送为 好 , 更有利于 安全管理、 两种选择 图 是上 无 十 四 厂 气站 直 接 向 各 车 间 供应 电子纯液氧 , 液氮的系统流 程 图 。 第二种选择 , 我们可 以参照 图 , 它是贝 岭公司气站集 中供应 个 液氮液氧再经纯 化装置后 向工艺车间供应高纯氮 , 高纯 氧的 系统流程图 。 、 三个方式丫夕、, 户 气站高纯气 使用点 关于管径和管路形式 气体输送系统的详细设计固然要以有关 技术规 程 和 安全 法 规为基 础 , 进行 流量 估 算 , 采用经济合理的流速 , 考虑到使用压力和 管阻及输送距离 , 确定合理的管径和管路形 式。 在上无 四 厂 , 我们对多个生产车伺 , 采 用在气站设 分气 缸 图 作 辐射 状安装 , 各车间管径相 同, 独立一路, 力避相互窜气干 扰 , 保持工作 压 力 稳定 当 时设计 压 力 仅为 一 勺,管道氮气置换, 使用管理和维护方便 , 而在贝岭‘ 公司全部管路成树枝状 延伸 , 干 管统一为 一 个 口 径 支管 又 统 一 为 一 个 口 径 。
1、实验室常用气体为氢气、压缩空气和氮气。有条件的应远离工作点设计具有防爆性能的气体存放室,没有条件的需设置带有全自动报警功能的气瓶安全柜存放。由气瓶室引入的气路,主要的控制阀门和减压阀门都安装在实验室外。实验室气体管路主要材质为不锈钢,安装在---下方,沿着墙走,这样便于检查和维修。此外,中央试验台气体管路的引入通过服务柱;所有的气体管路在工作台上有合适的控制阀门和相应的取气口,便于操作;所有气体管路的连接采用无缝焊接。压缩空气气体在管路上有个过虑杂质和水分的净化装置,排气管路不能并在一 起,盘管由不锈钢材料制成,有足够的韧性。减压阀要有标示,标明压力释放级别。所有阀门、调节装置、压力表都由高的不锈钢制成,所 有气体管路有合适的接地保护措施。
储罐系统干燥和置换
储镶干燥和置换需用由液氮!临时气化系统提供来完成置换工作。***临时气化系统产生氮的气通过临时管道接入tl 203 镶系统的氮气管网,天燃气管道的氮气置换,再进储罐内部内罐内,控制其进入罐内的流量,保持内罐a 区、拱顶a 区与 b 区环隙空间压力平衡。氮气可绕储罐 a 区、泵井和b 区循环。向储罐引人时,将罐顶中心吹扫喷嘴上的阀门部分打开,燃气管道氮气置换,以 将储罐压力控制在 8( ± 0 . 5)
k.pa,并安全放空置换用氮气与空气的?昆合气体。液氮临时气化 系统{共应在开始时较低,在检查制氮装置的运行情况,且罐内形成氮气一空气界丽后,方可再缓慢纳加氮气供应量。
当内罐氧含量低于15%,对泵井管进行干燥和置换。氧含量低于8%,对 b 区进行干燥和置换。 在内罐的低于一20℃ 且氧含量低于4%时,完成 a 区的干燥和置换工作。当 b 区的露dian低于-10℃且氧含量低于 4%时,b 区完成干燥和置换。当 b 区的氧含:!jt低于 8%时,宦 接把 b 区的 氮气导人 c 区进行干燥和置换。调节八区 、b 区的氧气排放口的开度,使此二区的压力不得超过 i5 kpa , b 区氮气将通过 raj隙 渗透进罐底边缘板下部说凝土层及"'幅板下部的干砂到达内罐底中心部位,并通过初 级底部吹扫 1--l 排出 储嫌。
c 区进行干燥和置换过程中,a 区、日区的压力必须控制始终大于 c 区的压力,以免产生储罐底部破坏。当c 区氧含量低于 8%时,可以对d 区进行氮气干燥和置换。当初级底部吹扫处l驭样点的氧含量低于4%时,天燃气管道氮气置换, c 区置换合格,继 续对 c 区进行干燥直至储罐及管道系统的氮气干燥置换工作全部完成。
d 区干燥和l 置换先打开底部平衡「l , 从b 区平衡系统国流口引入喧与d 区相接顶角平衡口,再从底部平衡口置换出空气,控制 d 区的压力不可大于其它区的压力 ,同时保 持a 区、
b 区的压力不得超过 i 5kpa ,当底部平衡口处取样点的氧含于4%时,d 区置换合格,整个储罐完成干燥和置换。
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